MEMS多组分气体监测仪

MEMS多组分气体监测仪，采用半导体电阻式气体检测技术，结合MEMS工艺技术，集成多传感器阵列结构，融合了智能算法，实现多组分气体定性和定量监测、工业危害气体泄漏预警等。